近日，中微半導體設備 (上海) 股份有限公司（證券代碼：688012，證券簡稱：中微公司）舉辦分析師會議，披露 2025 年上半年經營成績單及未來發展規劃。數據顯示，公司上半年業績延續高速增長態勢，核心產品競爭力持續提升，同時在產能布局、技術研發、產品拓展等領域多點突破，為國產半導體設備行業發展注入強勁動力。

    一、業績持續高增：營收凈利雙升，核心業務貢獻突出

    2025 年上半年，中微公司實現營業收入 49.61 億元，在 2024 年同比增長 44.7% 的基礎上，繼續保持高速增長；歸母凈利潤 7.06 億元，同比增幅達 36.6%，盈利水平穩步提升。

    作為公司收入支柱，占比超 75% 的主打產品 —— 等離子體刻蝕設備表現尤為亮眼，上半年實現銷售收入 37.81 億元，同比增長 40.1%，充分彰顯其在半導體刻蝕領域的核心競爭力。更值得關注的是，公司新產品布局成效顯著，LPCVD（低壓化學氣相沉積）與 ALD（原子層沉積）導體化學沉積設備銷售同比激增 608.2%，成為業績增長的新引擎。

    從訂單結構看，2025 年上半年公司新簽訂單同比增速達 40%，預計全年訂單增長態勢將持續向好。其中，等離子體刻蝕設備中 ICP 設備占比略高于 CCP 設備，客戶結構中存儲客戶占比約 67%，且整體先進制程占比超 70%，凸顯公司在高端制程領域的市場認可度。

    二、技術突破不斷：新產品覆蓋多領域，先進邏輯工藝覆蓋達 99%

    在半導體設備核心技術領域，中微公司持續深耕，多款新產品實現關鍵進展，推動國產化替代進程加速。

    薄膜沉積設備方面，公司近兩年新開發的 LPCVD 與 ALD 薄膜設備已進入市場并獲得重復性訂單。其中，鎢系列薄膜沉積產品可覆蓋存儲器件所有鎢應用，2024 年斬獲約 4.76 億元批量訂單后，2025 年上半年繼續保持高速增長；針對先進邏輯器件開發的 ALD 氮化鈦、ALD 鈦鋁、ALD 氮化鉭等金屬柵系列產品，不僅完成多個先進邏輯客戶設備驗證，其薄膜均一性、污染物控制及生產效率均達到世界先進水平，目前已付運至客戶端推進后續核準工作。未來，公司計劃開發超 40 種集成電路導體薄膜設備，覆蓋全部類別先進金屬應用，同時 PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）與 PVD（物理氣相沉積）設備研發進展順利，產品矩陣將進一步豐富。

    量檢測設備領域，面對國內高端量檢測設備國產化率不足 5% 的市場現狀，中微公司通過子公司超微積極布局電子束量檢測設備，核心團隊匯聚美國、日本、歐洲等全球知名量檢測企業人才，目前首臺針對關鍵尺寸量測設備的研發工作進展順利，有望填補國內高端量檢測設備領域空白。

    在先進邏輯產線布局上，中微公司已實現刻蝕環節工藝全覆蓋 ——CCP（電容耦合等離子體）及 ICP（電感耦合等離子體）工藝步驟超 120 道，工藝覆蓋率達 99%；同時，LPCVD、ALD、EPI（外延）等多款新設備在國內先進邏輯產線開展驗證，且多款設備已通過驗證，為后續市場拓展奠定堅實基礎。

    三、產能研發雙加碼：基地建設擴能，高投入筑牢技術壁壘

    為匹配業務高速增長需求，中微公司持續加碼產能布局。近三年，公司先后建成南昌生產和研發基地、上海臨港生產和研發基地及上海臨港總部大樓暨研發中心，新增總面積達 42 萬平方米，較 2022 年增長 15 倍；同時，公司還規劃在廣州增城區及成都高新區建造新生產基地，未來產能釋放將為產品大規模交付提供有力保障。

    人員團隊方面，截至 2025 年 6 月底，公司員工總數達 2638 人，其中研發人員 1321 人，占比超 50%，且研發人員中碩士、博士研究生占比達 55.49%，高素質研發團隊為技術創新提供核心支撐。過往公司人員年化增速約 22%，2025 年預計保持穩定擴張節奏，將根據經營狀況與產品布局動態調整人員結構。

    研發投入上，公司上半年研發投入達 14.92 億元，同比增長 53.70%，研發投入占營業收入比例高達 30.07%，遠高于科創板均值及行業平均水平。中微公司表示，現階段高研發投入旨在加速追趕國際一線水平，參考半導體設備行業規律，國際頭部企業研發投入占比最終穩定在 10%-13%，未來隨著公司收入體量提升與產品布局完善，研發投入占比有望逐步下降，凈利潤水平將迎來大幅提升空間。

    四、洞察行業趨勢：錨定國際第一梯隊，推動國產設備市占率提升

    對于半導體設備行業發展趨勢，中微公司援引 Techinsights 數據指出，2025 年全球半導體設備行業規模預計達 1086 億美元，其中中國市場占比約 35%。盡管半導體設備市場具有波動大、可預測性較差的特點，但從 5-10 年長周期視角看，設備領域仍是半導體行業增速最快的板塊之一。

    作為全球第一大半導體設備市場，中國市場平均增速遠高于國際整體水平，且伴隨國產設備市占率持續提升，國內設備行業增速將繼續跑贏海外。中微公司表示，我國半導體設備行業自 2004 年前后起步，經過 20 余年發展已實現設備品類全面覆蓋，公司將以開放心態擁抱合規、良性的行業競爭，聚焦自主知識產權創新、產品差異化設計及知識產權保護，同時提升運營效率，擴大產品覆蓋度與市場占有率。

    中長期來看，中微公司制定清晰發展目標：目前公司三十余種設備已覆蓋半導體高端設備 25%-30%，未來五到十年，將通過有機生長與外延擴展相結合的方式，逐步實現半導體高端設備 50%-60% 的覆蓋度，致力于成為國際第一梯隊的微觀加工設備大型平臺化公司，充分受益于國內半導體產業快速發展紅利，持續推動國產設備突圍。

    作為國產半導體設備領域的領軍企業，中微公司 2025 年上半年的亮眼業績與多維度布局，不僅展現了自身強勁的發展韌性，更折射出國產半導體設備行業的巨大潛力。未來，隨著技術持續突破、產能逐步釋放及產品矩陣完善，中微公司有望在全球半導體設備競爭中占據更重要地位，為我國半導體產業鏈自主可控貢獻更多力量。