近日,浙江晶盛機電股份有限公司(證券代碼:300316,證券簡稱:晶盛機電)舉辦投資者關系活動,接待了易方達基金、摩根基金、華夏久盈資產、富國基金等超 120 家知名機構投資者代表。活動中,公司投資者關系負責人林婷婷詳細披露了碳化硅襯底、半導體裝備、光伏裝備等核心業務的最新進展,展現出在半導體材料與裝備國產化領域的強勁競爭力。
碳化硅襯底:12 英寸技術突破 + 全球化產能布局,國際訂單落地
作為第三代半導體核心材料,碳化硅襯底業務成為本次交流的焦點。據披露,晶盛機電已實現6-8 英寸碳化硅襯底規模化量產與銷售,量產產品核心參數指標達到行業一流水平,同時成功突破 12 英寸導電型碳化硅單晶生長技術,順利長出 12 英寸碳化硅晶體,標志著公司在大尺寸碳化硅材料領域躋身行業前列。
產能布局方面,公司正加速構建全球化供應體系:在上虞基地布局年產 30 萬片碳化硅襯底項目,滿足國內市場需求;面向全球市場,在馬來西亞檳城投建 8 英寸碳化硅襯底產業化項目,進一步強化海外供應能力;此外,銀川基地的 8 英寸碳化硅襯底片配套晶體項目也在推進中,持續夯實規模優勢。
值得關注的是,依托晶體生長及加工設備的高度自給能力,晶盛機電實現了 “設備 - 工藝” 深度融合,在技術調整、產能投放及成本控制上具備顯著競爭優勢。目前,公司碳化硅襯底已啟動全球客戶驗證,送樣范圍大幅擴大,驗證進展順利,且成功獲取部分國際客戶批量訂單,全球化市場突破成效初顯。
對于碳化硅襯底的應用前景,公司指出,導電型碳化硅襯底因高擊穿場強、高導熱率等特性,在新能源汽車功率器件、儲能變流器等領域應用潛力巨大;半絕緣型碳化硅則憑借低載流子濃度、優異微波損耗特性,成為 5G/6G 基站射頻前端器件核心襯底,同時在 AR 眼鏡、高端散熱等終端領域具備不可替代性。
半導體裝備:未完成訂單超 37 億元,多品類實現國產替代
在半導體裝備業務領域,晶盛機電受益于行業國產化進程加速,呈現 “訂單飽滿 + 技術突破” 雙利好態勢。數據顯示,截至 2025 年 6 月 30 日,公司未完成集成電路及化合物半導體裝備合同金額超37 億元(含稅) ,為后續業績增長提供堅實支撐。
技術突破方面,公司在集成電路裝備與化合物半導體裝備領域多點開花:
集成電路裝備:自主研發的 12 英寸常壓硅外延設備已順利交付國內頭部客戶,其電阻率、厚度均勻性、外延層缺陷密度等關鍵指標達到國際先進水平;12 英寸干進干出邊拋機、12 英寸雙面減薄機等新產品正推進客戶驗證;12 英寸硅減壓外延生長設備實現銷售出貨,采用單溫區 / 多溫區閉環控溫、多真空區間精準控壓技術,結合獨特腔體設計,可滿足先進制程對膜厚均勻性、摻雜均勻性的高標準要求;此外,公司開發的先進封裝用超快紫外激光開槽設備,填補國內高端紫外激光開槽技術空白,成功實現國產替代。
化合物半導體裝備:緊抓碳化硅產業鏈向 8 英寸切換趨勢,重點推廣 8 英寸碳化硅外延設備及 6-8 英寸碳化硅減薄設備,同時推進碳化硅氧化爐、激活爐、離子注入設備的客戶驗證,為規模化量產奠定基礎。目前,公司碳化硅設備客戶已覆蓋瀚天天成、東莞天域、芯聯集成、士蘭微等行業頭部企業,市場認可度持續提升。