據IHS iSuppli公司的研究，日本地震與海嘯沖擊全球產業供應鏈將近兩個月之后，全球微機電系統(MEMS)產業完全復原，相對來說幾乎未受到這次嚴重災害的打擊。

    迄今為止，MEMS傳感器與激勵器的供應只受到輕微影響，日本地震對于全球MEMS產業的影響主要體現在需求方面，而不是供應方面。工廠受損的制造商受到的沖擊比供應商更為嚴重，供應鏈中其它地方的瓶頸也在影響制造商的生產業務。

    MEMS器件用于智能手機和平板電腦等多種消費電子產品，而且也用于工業、醫療和航空產業等領域。考慮到全球50家最大的MEMS制造商中有九家是日本企業，而且日本是總部在西方國家的MEMS公司的強大制造基地，日本對于MEMS生產與供應舉足輕重。

    2010年日本企業MEMS銷售額約為13.8億美元，占全球市場需求的21.3%。佳能、松下、愛普生和電裝都位居全球20大MEMS公司之列。

    根據日本MEMS廠商和在日本處理MEMS的外國公司的銷售額，2010年，在不同程度上，大約占全球銷售額32.5%的MEMS傳感器和激勵器在日本工廠中進行過處理。在日本設有MEMS工廠的西方企業包括：飛思卡爾半導體、Knowles Electronics、Goodrich Corp.和德州儀器。德州儀器數字光處理(DLP)芯片組中的CMOS電路是在日本生產的。

    另外，全球幾乎全部數字羅盤都是在日本生產的。這種器件正在迅速成為具備GPS功能的平板電腦和手機的標準配備。IHS iSuppli公司的研究顯示，2010年全球數字羅盤出貨量達到2.63億個，比2009年的5800萬個劇增354%，預計到2015年將激增到12.8億個。AKM Semiconductor、雅馬哈公司、愛知制鋼和阿爾卑斯電氣這四家日本公司，生產的數字羅盤合計占全球供應量的97%。

    對于全球整體MEMS產業以及日本MEMS產業來說，由于地理布局方面的僥幸因素，所受損失比其它產業要輕。多數MEMS工廠和代工廠位于日本南部的本州，遠離日本北方的重災區。而且，在發生地震和海嘯以前，MEMS和羅盤供應商就一直依賴多家工廠進行生產。

    損害報告：只有三家工廠遭到直接破壞

    IHS iSuppli公司的研究顯示，位于日本的22家最重要MEMS與羅盤工廠中，只有三家受到直接破壞，不過其它19家工廠可能受到困擾整個日本的物流與供電問題影響。三家受損工廠分別屬于飛思卡爾、佳能和德州儀器。圖1顯示了日本各地的MEMS與數字羅盤工廠分布情況。

    據飛思卡爾，該公司已決定關閉接近震中的仙臺150mm晶圓廠，并集中精力加快把MEMS生產轉移到美國德州的200mm Oak III工廠。

    飛思卡爾很幸運，其仙臺工廠原本就計劃在2011年底關閉，而且該公司早就建立了緩沖庫存。IHS公司認為，如果不是在2009年做出了這些決策，飛思卡爾及其客戶肯定會受到沉重打擊。

    佳能在福島市生產打印機和MEMS打印頭，而核事故就發生在該市。該公司的工廠受到嚴重破壞，生產已經停止。但是，佳能迅速修復了工廠，在4月的第一周全面恢復生產。IHS iSuppli公司的數據顯示，這次災害對佳能2011年MEMS銷售額的影響預計非常有限。

    德州儀器的美惠廠位于東京東北部，傳輸化學物品、燃氣、水以及空氣的基礎設施系統已經開始修復。該公司表示，該工廠可以于 9 月份恢復全面生產。在這次震災之前，德州儀器已經使用多家工廠生產用于DLP MEMS芯片的CMOS晶圓，而且該公司能夠快速提升其它工廠的產量來彌補美惠廠的產量下降。