近日，睿勵(lì)科學(xué)儀器(上海)有限公司（以下簡(jiǎn)稱“睿勵(lì)科學(xué)儀器”）近日完成近5億元戰(zhàn)略融資，本輪融資由金石投資、招商致遠(yuǎn)領(lǐng)投，清控金信、河南資產(chǎn)、鼎青投資等資方跟投。

    融資資金將用于高精度光學(xué)量檢測(cè)系列產(chǎn)品的研發(fā)和市場(chǎng)化推廣，豐富公司的產(chǎn)品矩陣，加速擴(kuò)大生產(chǎn)并加強(qiáng)公司的市場(chǎng)拓展和品牌建設(shè)等。

    睿勵(lì)科學(xué)儀器成立于2005年，總部位于上海張江。公司致力于開發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)及核心技術(shù)的集成電路芯片制造工藝用的光學(xué)量檢測(cè)設(shè)備。

    2005年，曾任全球大量檢測(cè)設(shè)備企業(yè)研發(fā)科學(xué)家、研發(fā)經(jīng)理的呂彤欣博士，回國(guó)創(chuàng)辦了國(guó)內(nèi)一家專注于集成電路生產(chǎn)前道工藝量檢測(cè)設(shè)備開發(fā)的企業(yè)——睿勵(lì)科學(xué)儀器。公司核心團(tuán)隊(duì)來(lái)自行業(yè)國(guó)際巨頭，專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)成員大都來(lái)自國(guó)際前兩名的量檢測(cè)設(shè)備企業(yè)以及國(guó)內(nèi)著名光學(xué)技術(shù)類公司，擁有多項(xiàng)全自主研發(fā)的專利技術(shù)。

    睿勵(lì)科學(xué)儀器總經(jīng)理?xiàng)罘灞硎荆骸胺浅８兄x投資方的認(rèn)可與支持。我們將繼續(xù)深耕集成電路芯片生產(chǎn)工藝檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)，進(jìn)一步豐富光學(xué)量測(cè)和光學(xué)缺陷檢測(cè)產(chǎn)品系列，為實(shí)現(xiàn)集成電路前道工藝檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化全面替代的目標(biāo)而努力。”他指出，未來(lái)，睿勵(lì)科學(xué)儀器將持續(xù)聚焦在光學(xué)量檢測(cè)領(lǐng)域，完善膜厚量測(cè)、OCD量測(cè)、缺陷檢測(cè)，開發(fā)包括OVL的其他光學(xué)量檢測(cè)設(shè)備。

    金石投資表示，半導(dǎo)體設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展有賴于半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)和產(chǎn)品突破，量檢測(cè)是其中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。睿勵(lì)科學(xué)作為中國(guó)最早的一批量檢測(cè)設(shè)備公司，吸引了來(lái)自于國(guó)內(nèi)外的頂尖人才，堅(jiān)持技術(shù)創(chuàng)新，聚焦光學(xué)技術(shù)，我們相信睿勵(lì)科學(xué)將繼續(xù)保持技術(shù)和產(chǎn)品領(lǐng)先，幫助先進(jìn)制程實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代的突破和發(fā)展。

    招商致遠(yuǎn)表示，半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備面臨巨大的市場(chǎng)空間和國(guó)產(chǎn)替代機(jī)遇，也具有很高的壁壘。招商致遠(yuǎn)看好半導(dǎo)體量檢測(cè)賽道，期待睿勵(lì)科學(xué)憑借優(yōu)秀的團(tuán)隊(duì)和多年的技術(shù)積累和量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，成為該細(xì)分賽道的領(lǐng)導(dǎo)者。