深圳瓏璟光電科技有限公司（簡稱：瓏璟光電）發布衍射光波導，產品型號名為LCE2104H。這是繼今年年初推出視場角40度光柵波導樣品并宣告其光柵波導產品進入產品迭代設計以及量產化準備階段之后的第一款量產產品。

    LCE2104H的視場角為28°，出瞳距離20mm，眼動范圍達到15*12mm，鏡片厚度僅為1.4mm，透過率高達85%。產品與其他大體積光學方案相比，輕薄而且可靈活切割處理，在外形上可更貼近眼鏡形態，搭配了結構更為緊湊、更為輕量化的光機。

    瓏璟光電衍射光波導產品研發生產全流程均自主完成，衍射光柵設計依托于自主知識產權，采用自主開發的衍射波導輔助設計軟件，自主創新的微光柵結構以及架構設計，與國際一線大廠相比，走出了瓏璟光電獨有的產品設計路線。產品的生產，如勻膠、壓印、固化、切割、組裝等工藝流程全部在瓏璟光電微納實驗室和深汕生產基地完成，基本實現生產制作過程可控，質量可控，時間周期可控。

    瓏璟光電從2017年便開始在衍射光波導方向布局，19年投入數千萬成立微納光學實驗室，實現衍射光柵產品小批量試產。同時，預計今年年內，位于深汕特別合作區的瓏璟光電生產基地全新的衍射光波導生產線將建設完成，在現有的小批量量產試產上，衍射光波導的產能將提升至K級每月。

    衍射波導的加工工藝中，第一步需要通過半導體的微納米加工工藝在硅基底上通過電子束曝光和離子刻蝕制成母版，為全面實現衍射波導生產制作全流程全工藝的自主可控，瓏璟光電將進一步加大投入，購入母版制作加工的相關設備，引進更多微納高精尖人才。

    瓏璟光電作為行業內為數不多同時專注于陣列光波導、衍射光波導的研發和生產的高科技光電技術公司，在陣列光波導的產品方向上已取得了明顯優勢地位。在衍射光波導產品方向上，無論是從研發設計、生產加工，還是人才積累和培養，瓏璟光電在衍射波導的布局也已取得了顯著成績！在產業化的道路上，同樣會建立優勢地位。

    1.瓏璟在衍射光波導的布局：

    a) 團隊研發和技術能力超群：

    i. 瓏璟光電的AR光學理論基礎雄厚、擁有較強的光學設計和逆向光子優化設計能力，具備十余年光學領域科研經驗、在衍射光學和光學設計領域均有建樹。團隊的學術研究成果在包括Nature communication, Optics Letters、Applied optics , Optics Express、Journal of Optics、光學學報、中國激光等國內外知名光學期刊發表。是Optica，Optics Express, Applied Optics等期刊審稿人。

    ii. 瓏璟歐洲研究中心團隊擁有10年衍射光學經驗。團隊在Journal of physical Chemistry C，Optics Letters, Optics and Lasers in Engineering等刊物上發表文章多篇，是Optica，Optics Express等期刊審稿人，參與過歐盟科學研究項目2項。

    b) 衍射光波導產品研發積累：設有700平的衍射光波導微納光學實驗室、有納米壓印實驗線，同時規劃有納米壓印量產線、電子束曝光設備和刻蝕設備，電鏡檢測設備等半導體光刻設備，目的是打通全部環節的衍射光柵波導加工和檢測產線；目前有團隊專注于衍射光波導產品研發設計。

    c) 自主開發的衍射光波導設計工具軟件：瓏璟光電開發有專用的光柵結構全電磁矢量分析軟件和衍射光柵波導設計軟件，這兩款軟件目前已經深度應用并成功用于設計衍射波導模組的工業開發。

    d) 衍射光波導專利布局情況：瓏璟光電目前主要布局在兩個方面，一是創新的光柵波導微結構，突破現有的常用的光柵波導微結構；二是創新的光柵波導架構設計，因為目前光柵波導使用的架構有兩種，以微軟為代表的一維光柵方案，和以WaveOptics為代表的二維光柵方案，瓏璟光電在積極探索第三種特有的結構，并積極部署了相關發明專利。這個就是全矢量計算電磁逆向優化出來的一種拓撲結構，相比一維和二維光柵能夠獲取更好的視場均勻性和Eyebox均勻性。

    e) 海外研究中心和高校合作：

    i. 持續跟進海外技術動態，依托瓏璟歐洲的研究中心，進一步加大落實歐洲高校的合作，同時加強國內產業化的能力。

    ii. 爭取國外完成原理性問題突破后，在12個月內做出類似效果的產品，并且依托國內產業化能力和客戶基礎，加大光柵產品的迭代和產業化，拿下更多的客戶。

    iii. 針對前沿的技術如體全息和超表面等，持續保持關注和跟進，并已布局相關專利，來判斷他們可產業化的時間點，去做產業化相關的準備工作。

    f) 衍射光波導客戶合作情況：衍射光波導模組由于體積可以做到更小，所以客戶范圍會更廣，除了傳統的工業、安防等B端應用，我們也和以國內消費電子行業的領導廠商為代表的C端客戶持續接觸，預計在衍射方向2021年可實現小批量出貨，找到有潛力的場景和客戶持續共同打磨產品。

    2. 納米壓印流程介紹

    該工藝如圖2-1所示，可分為兩個階段：納米壓印工作模具制備階段和批量生產階段。首先，通過上述模板制備工藝將圖案加工到硅晶圓上以用作模板，通過納米壓印技術在更大的硅晶片上旋涂UV樹脂并在上面印刷更多的模板。然后使用紫外線對印刷的結構進行曝光以固定樹脂。最后通過重復上述過程批量生產多圖案的壓印模具。在批量生產的過程中，使用多圖案的模具來生產表面浮雕光柵波導，然后使用功能性涂層覆蓋波導，并用激光切割技術分離，最后將不同結構的波導堆疊實現光學模組的制備。

    3. 納米壓印設備：

    第一階段入廠的納米壓印設備包括高精度紫外納米壓印設備，勻膠+熱板設備，以及相關清洗設備等。高精度紫外納米壓印設備主要用于大批量壓印衍射光學器件，適用于浮雕光柵波導、全息元件等的批量壓印生產。可壓印高精度結構、高深寬比結構、以及斜光柵結構等，能夠全自動根據配方進行納米壓印。購入的設備可選用熱固化和紫外固化兩種方式，適用于不同的膠水工藝，具有多用性。同時，該設備支持自動復制柔性復合工作模具，工作模具具有精度高，壽命長等特點，可以顯著降低大面積納米壓印工藝中模具使用成本。勻膠+熱板設備主要用于晶圓結構復制材料的旋涂和基片壓印膠的旋涂，適用于300mm直徑圓片的旋涂勻膠與烘烤工藝。相關清洗設備用于基片的無損清洗及表面活化。第一階段的納米壓印設備可以滿足瓏璟光電初期的浮雕光柵波導的壓印工藝探索，以及小批量生產。

    4. 納米壓印進度：

    基于購置的納米壓印相關設備和自己搭建的工藝表面處理設備，經過多輪的工藝摸索，已經獨立走通了整個的納米壓印工藝流程（之前部分表面處理工作需要外發到設備商處進行處理，時間上完全沒有保障）,目前的納米壓印工作分為兩塊，一是對目前在加工晶圓的測試壓印；二是對新膠水，包括模板膠水和壓印膠水的測試工作，形成一個穩定的膠水供應鏈和膠水工藝庫。如下兩個圖是目前納米壓印的SEM圖。

    5. 自研發工具軟件：

    ARDesign為瓏璟AR波導片開發工具包，結合ZEMAX Optic Studio軟件，能快速自動化建模，評價分析波導鏡片成像質量。

ARDesign 操作區示意圖

建模實例圖

自研光波導設計軟件專利